|
СтатусДиссертация была зашищена 16 февраля 2007Утверждена Национальным Советом 19 апреля 2007 Автореферат![]() ![]() ДиссертацияCZU 541.13 + 621.35
|
На примере электроосаждения хрома в стандартном хромовом и сплавов Co-W в цитратном электролитах, при различных плотностях постоянного и им-пульсного токов и объемных температурах исследованы: влияние поверхностного выделения тепла на скорость электроосаждения и его зависимость от плотности тока, технологические показатели (прежде всего, хромирования), в том числе на рассеивающую способность электролита и структуру осажденных осадков. Пока-зано, что поверхностное выделение тепла (при электроосаждении хрома из стан-дартного электролита хромирования на постоянном токе в интервале плотностей тока 0,5 - 6,25 А/см2), являющееся функцией плотности тока, приводит к умень-шению выхода по току в зависимости от плотности тока (i) в области высоких i. Показано, что выход по току при использовании униполярного импульсного тока существенно зависит от длительности импульса, повышаясь (при заданной скваж-ности) с увеличением длительности. В области миллисекундного (и ниже) диапа-зона импульсного тока выход по току хрома близок к нулю, а при длительности импульса (р) больше 0,1с - выше наблюдаемого при использовании постоянного тока (для обычно используемых в данном процессе средних плотностей тока). Ус-тановлена зависимость поверхностной температуры (и, как следствие, скорости осаждения и выхода по току) от параметров импульсного тока. При постоянных средних плотностях тока и объемной температуре наблюдается уменьшение сред-ней поверхностной температуры с увеличением длительности импульса. Показа-но, что использование импульсного тока в интервале длительностей импульса 0,1с р 20с приводит к падающей зависимости p /d (отношение выхода по току в импульсных условиях к выходу по току на постоянном токе) в зависимости от средней плотности тока. Следствием этого эффекта является повышение рассеи-вающей способности (РС) электролита от отрицательной при использовании по-стоянного тока до РС 90% при использовании импульсного тока ( iavg = 0,5А/см2, q = 4, р =2с). Проанализировано влияние поверхностного тепловыделения на структуру электроосажденного хрома и показано существование пороговых зна-чений плотностей тока, выше которых наблюдается неоднозначность свойств при идентичных условиях электроосаждения.
Установлено, что приращение поверхностной температуры незначительно при электроосаждении сплавов Co-W, а величина приращения практически не за-висит от плотности тока. Показано, что отсутствие влияния плотности тока на ве-личину приращения поверхностной температуры связано, с изменением состава пленки при росте плотности тока, которое приводит к «вытеснению» органиче-ской фазы из пленки; при повышении плотности тока осаждающаяся пленка ста-новится более «металлической», что приводит к уменьшению ее сопротивления, а, следовательно, к снижению поверхностного тепловыделения в ней.