Cuvinte Cheie
In2O3, SnO2, sol-gel, spray piroliză, dopare, proprietăţi gazo-sensibile, modificări nanostructurale
Adnotare
Teza constă din Întroducere, 4 Capitole, Concluzii generale şi recomandări, 170 Titluri bibliografice, 129 Pagini, 55 Figuri, 3 Tabele. Rezultatele prezentate în teză sunt publicate în 44 lucrări ştiinţifice.
Domeniul de studiu: senzori de gaze.
Scopul şi obiectivele lucrării: cercetarea multilaterală şi comparativă a oxizilor binari în bază de In2O3, şi SnO2 dopaţi cu impurităţi de diferit tip şi valenţă (metale şi nemetale) şi stabilirea rolului dopanţilor în formarea proprietăţilor de senzitivitate la gaze a acestor materiale folosindu-se tehnologiilor sol-gel şi a peliculelor subţiri.
Noutatea şi originalitatea ştiinţifică: în premieră a fost efectuată studierea complexă şi comparativă a prototipurilor senzorilor de gaze mono-electrod în bază de In2O3 şi cu o gamă largă de dopanţi; a fost stabilit efectul formării reciproce a nanoclusterilor atât oxidului de bază, cât şi a oxidului dopantului la doparea SnO2 cu Co, Cu, Fe, Ni în concentraţii mai mari decât limita solubilităţii volumetrice.
Problema ştiinţifică importantă soluţionată: a fost demonstrată posibilitatea de dirijare a proprietăţilor gazo-sensibile a oxizilor metalici pe bază ceramicii In2O3 şi a peliculelor subțire de SnO2 prin doparea lor cu dopanţi de diferit tip și a fost stabilită fizica proprietăţilor structurale și senzorice a acestor dopanţi.
Semnificaţia teoretică: a fost explicat aportul mecanismelor structurale, de adsorbţie şi electronice în amplificarea şi diminuarea proprietăţilor gazo-sensibile în cazul dopării cu diferiţi dopanţi, precum şi legătură lor cu tranziţiile de la solubilitatea volumetrică pînă la sedimentarea într-o fază oxidică atât pentru In2O3, cât şi pentru SnO2.
Valoarea aplicativă: au fost propuse prototipuri ale sensorilor sub formă de pelicule subţiri şi a celor mono-electrod în baza SnO2 şi In2O3 cu caracteristici de exploatare îmbunătăţite şi anume: cu sensibilitate înaltă (In2O3: Ga, P, Cu, Zn), (SnO2: Cu, Co), selectivitate înaltă (In2O3: Cu, P, Mn), stabilitate înaltă (In2O3: Ga, Al, Zn, Fe), cu timp de răspuns şi restabilire mici, cu sensibilitate joasă la umiditate (In2O3: Ga, Al).
Cuprins
1. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ИНЖИНИРИНГА ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ ХЕМОРЕЗИСТИВНОГО ЭФФЕКТА. ЛИТЕРТУРНЫЙ ОБЗОР
- 1.1. Принцип функционирования твёрдотельных хеморезистивных газовых сенсоров
- 1.2. Факторы, контролирующие параметры газовых сенсоров
- 1.3. Способы управления параметрами газовых сенсоров
- 1.3.1. Объёмное легирование
- 1.3.2. Поверхностное легирование
- 1.4. Заключение к главе 1
2. МЕТОДЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕНСОРОВ, ИХ КОНТРОЛЯ И ТЕСТИРОВАНИЯ
- 2.1. Золь-гель и спрей-пиролиз – основные методы синтеза, осаждения и модификации при формировании исследованных газочувствительных материалов
- 2.2. Методы структурного и композиционного анализа
- 2.2.1. Рентгеновская дифракция
- 2.2.2. Сканирующая электронная спектроскопия
- 2.2.3. Атомная силовая микроскопия
- 2.2.4. Рамановская спектроскопия
- 2.3. Методика контроля электрофизических и газочувствительных свойств сенсоров на основе In2O3 и SnO2
- 2.4. Заключение к главе 2
3. ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ КЕРАМИКИ In2O3
- 3.1. Метод изготовления и структурная характеристика одноэлектродных газовых сенсоров
- 3.2. Общие газочувствительные свойства одноэлектродных газовых сенсоров на основе In2O3
- 3.3. Влияние легирования на электрофизические и газочувствительные свойства керамики In2O3
- 3.4. Структурный анализ керамики In2O3 с помощью рамановской спектроскопии
- 3.5. Влияние легирования на скорость и селективность газового ответа керамики In2O3
- 3.6. Влияние влажности воздуха на газовый ответ одноэлектродных газовых сенсоров на основе In2O3
- 3.7 Оценки порогов чувствительности прототипов одноэлектродных сенсоров на основе In2O3 с различными добавками
- 3.8. Заключение к главе 3
4. ИЗУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЁНОК SnO2, ЛЕГИРОВАННЫХ ПЕРЕХОДНЫМИ МЕТАЛЛАМИ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ СПРЕЙ-ПИРОЛИЗА
- 4.1. Закономерности влияния легирования на морфологию плёнок
- 4.1.1. Влияние легирования на размеры зерна SnO2
- 4.1.2. Влияние легирования на агломерацию плёнок SnO2
- 4.2. Тонкие пленки SnO2, легированные кобальтом
- 4.2.1. Газочувствительные характеристики плёнок SnO2, легированных Co
- 4.2.2. Морфологические, структурные и электрофизические факторы, влияющие на газочувствительные свойства при легировании Co
- 4.3. Тонкие пленки SnO2, легированные медью
- 4.3.1. Газочувствительные характеристики плёнок SnO2, легированных Cu
- 4.3.2. Морфологические, структурные и электрофизические факторы, влияющие на газочувствительные свойства при легировании Cu
- 4.3.3. Роль фазового состояния Cu в газочувствительных характеристиках
- 4.4. Сравнительный анализ чувствительностей и механизмы газового ответа сенсоров на основе SnO2:Co и SnO2:Cu
- 4.5. Заключение к главе 4
ВЫВОДЫ И РЕКОМЕНДАЦИИ